Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Arbeitswissenschaft und Betriebsorganisation (IFAB) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 1998 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 330798 |
HGF-Programm | 41.06.03 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | F & M : Feinwerktechnik, Mikrotechnik, Mikroelektronik |
Band | 106 |
Seiten | 264-66 |
Erscheinungsvermerk | F & M, Feinwerktech., Mikrotech., Mikroelektron. 106 (1998) S. 264-266. |