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Micro membrane pump

Buestgens, Burkard; Bacher, Walter; Bier, Wilhelm; Ehnes, Rolf; Maas, Dieter; Ruprecht, Robert; Schomburg, Werner K.; Keydel, L.


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Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buch
Publikationsjahr 1996
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 33096
Erscheinungsvermerk LIGA news 4 (1996).
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 96S180
KIT – Die Universität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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