Micro membrane pump

Buestgens, Burkard; Bacher, Walter; Bier, Wilhelm; Ehnes, Rolf; Maas, Dieter; Ruprecht, Robert; Schomburg, Werner K.; Keydel, L.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Buch
Publikationsjahr	1996
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 33096
Erscheinungsvermerk	LIGA news 4 (1996).
Bemerkung zur Veröffentlichung	Sonderdrucknummer 96S180