KIT | KIT-Bibliothek | Impressum

Deep X-ray lithography for LIGA microsystems

Boerner, M.; El-Kholi, A.; Pantenburg, F.J.; Mohr, Jürgen



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 33196
HGF-Programm 41.01.02; LK 01
Erschienen in Synchrotron Radiation News
Band 9
Seiten 24-30
Erscheinungsvermerk Synchrotron radiat. news 9 (1996) H. 4 S. 24-30.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 96S181
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page