Deep X-ray lithography for LIGA microsystems
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0894-0886, 1931-7344 KITopen-ID: 33196 |
| HGF-Programm | 41.01.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Synchrotron radiation news |
| Verlag | Taylor and Francis |
| Band | 9 |
| Heft | 4 |
| Seiten | 24-30 |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 96S181 |