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Deep X-ray lithography for LIGA microsystems

Boerner, M.; El-Kholi, A.; Pantenburg, F. J.; Mohr, Jürgen


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 33196
HGF-Programm 41.01.02 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Synchrotron Radiation News
Band 9
Seiten 24-30
Erscheinungsvermerk Synchrotron radiat. news 9 (1996) H. 4 S. 24-30.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 96S181
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