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Entwicklung von miniaturisierten Fourier-Transformations-Spektrometern und ihre Herstellung mit dem LIGA-Verfahren

Solf, Christian



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 2004
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 332004
Reportnummer: FZKA-6964
HGF-Programm 41.04.01; LK 01
Erscheinungsvermerk Karlsruhe 2004. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 6964.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 24.11.2003 u.d.T.: Entwicklung miniaturisierter Fourier-Transformations-Spektrometer und ihre Herstellung mit dem LIGA-Verfahren.
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Prüfungsdaten Diss. v. 24.11.2003
URLs Abstract (HTML)
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