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Entwicklung von miniaturisierten Fourier-Transformations-Spektrometern und ihre Herstellung mit dem LIGA-Verfahren

Solf, Christian


Volltext §
DOI: 10.5445/IR/332004
Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Publikationsjahr 2004
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 332004
Reportnummer: FZKA-6964
HGF-Programm 41.04.01 (POF I, LK 01) Nachrichtentechnik
Verlag Universität Karlsruhe (TH)
Erscheinungsvermerk Karlsruhe 2004. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 6964.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 24.11.2003 u.d.T.: Entwicklung miniaturisierter Fourier-Transformations-Spektrometer und ihre Herstellung mit dem LIGA-Verfahren.
Art der Arbeit Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Prüfungsdaten Diss. v. 24.11.2003
Externe Relationen Abstract/Volltext
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