Cluster beam deposition: optimization of the cluster beam source
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 332395 |
| HGF-Programm | 51.12 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Journal of Vacuum Science and Technology A |
| Band | 13 |
| Seiten | 2128-32 |
| Erscheinungsvermerk | The j. of vac. sci. and technol. A 13 (1995) S. 2128-2132. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 96S162 |