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Cluster beam deposition: optimization of the cluster beam source

Gatz, P.; Hagena, Otto-Friedrich



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 332395
HGF-Programm 51.12 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Journal of Vacuum Science and Technology A
Band 13
Seiten 2128-32
Erscheinungsvermerk The j. of vac. sci. and technol. A 13 (1995) S. 2128-2132.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 96S162
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