Lithography by accelerated nanoparticle ions
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 332495 |
| HGF-Programm | 52.01.12 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Journal of Vacuum Science and Technology B |
| Band | 13 |
| Seiten | 2618-20 |
| Erscheinungsvermerk | The j. of vac. sci. and technol. B 13 (1995) S. 2618-2620. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 96S164 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science |