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Lithography by accelerated nanoparticle ions

Gspann, Jürgen


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1116/1.588036
Web of Science
Zitationen: 1
Dimensions
Zitationen: 1
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1995
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 332495
HGF-Programm 52.01.12 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Journal of Vacuum Science and Technology B
Band 13
Seiten 2618-20
Erscheinungsvermerk The j. of vac. sci. and technol. B 13 (1995) S. 2618-2620.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 96S164
Nachgewiesen in Dimensions
Web of Science
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