Cluster beams for metallization of microstructured surfaces
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 332595 |
| HGF-Programm | 52.01.12 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Applied Surface Science |
| Band | 91 |
| Seiten | 169-74 |
| Erscheinungsvermerk | Appl. surf. sci. 91 (1995) S. 169-174. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 96S165 |