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Online exhaust gas analytics during plasma cleaning of PECVD facilities

Guber, Andreas; Koehler, Uwe



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 332695
Erscheinungsvermerk In: Process, equipment, and materials control in integrated circuit manufacturing. Ed.: A. G. Sabnis. Bellingham, Wash. 1995. S. 147-155. (Proceedings. SPIE. 2637.)
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 96S166
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