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| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 332695 |
| Erscheinungsvermerk | In: Process, equipment, and materials control in integrated circuit manufacturing. Ed.: A. G. Sabnis. Bellingham, Wash. 1995. S. 147-155. (Proceedings. SPIE. 2637.) |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 96S166 |