Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 1995 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 332895 |
HGF-Programm | 41.03.03 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Schweizerische Technische Zeitschrift |
Heft | 11 |
Seiten | 26-29 |
Erscheinungsvermerk | Schweiz. Tech. Z. 92 (1995) H. 11 S. 26-29. |
Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 96S168 |