| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 332895 |
| HGF-Programm | 41.03.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Schweizerische Technische Zeitschrift |
| Heft | 11 |
| Seiten | 26-29 |
| Erscheinungsvermerk | Schweiz. Tech. Z. 92 (1995) H. 11 S. 26-29. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 96S168 |