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Microstructuring by nanoparticle impact lithography

Gspann, Jürgen 1
1 Universität Karlsruhe (TH)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/0924-4247(95)01067-X
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Zitationen: 10
Web of Science
Zitationen: 12
Dimensions
Zitationen: 5
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1995
Sprache Deutsch
Identifikator ISSN: 0924-4247
KITopen-ID: 332995
HGF-Programm 52.01.16 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Sensors and Actuators A
Verlag Elsevier
Band 51
Heft 1
Seiten 37-39
Erscheinungsvermerk Sensors and actuators A 51 (1995) S. 37-39.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 96S169
Nachgewiesen in Dimensions
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