Microstructuring by nanoparticle impact lithography
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | ISSN: 0924-4247 KITopen-ID: 332995 |
| HGF-Programm | 52.01.16 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Sensors and Actuators A |
| Verlag | Elsevier |
| Band | 51 |
| Heft | 1 |
| Seiten | 37-39 |
| Erscheinungsvermerk | Sensors and actuators A 51 (1995) S. 37-39. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 96S169 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Scopus Dimensions |