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Ergebnisse des Forschungszentrums Karlsruhe im Bereich der Röntgentiefenlithographie im Jahre 1994

El-Kholi, A.; Goettert, Jost; Mohr, Jürgen; Pantenburg, F. J.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Publikationsjahr 1995
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 333195
Erscheinungsvermerk In: Jahresbericht 1994. Synchrotronstrahlungsgruppe, Physikalisches Institut, Universität Bonn. Bonn 1995. S. 121-126.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 96S176
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