Ergebnisse des Forschungszentrums Karlsruhe im Bereich der Röntgentiefenlithographie im Jahre 1994
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 333195 |
| Erscheinungsvermerk | In: Jahresbericht 1994. Synchrotronstrahlungsgruppe, Physikalisches Institut, Universität Bonn. Bonn 1995. S. 121-126. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 96S176 |