Fabrication of microoptical components and systems by the LIGA technique
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 333395 |
| Erscheinungsvermerk | In: Texte des communications. Journees d'etude. Procedes et modeles pour la micro- optique passive. Georgia Tech Lorraine, Metz 1995. S. 31-38. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 96S189 |