Fabrication of microlenses by plasmaless isotropic etching combined with plastic moulding
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 33596 |
| HGF-Programm | 52.01.52 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Sensors and Actuators A |
| Band | 53 |
| Seiten | 361-63 |
| Erscheinungsvermerk | Sensors and actuators A 53 (1996) S. 361-363. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 96S186 |