Fabrication of microlenses by plasmaless isotropic etching combined with plastic moulding
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0924-4247, 1873-3069 KITopen-ID: 33596 |
| HGF-Programm | 52.01.52 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Sensors and actuators <Lausanne> / A |
| Verlag | Elsevier |
| Band | 53 |
| Heft | 1-3 |
| Seiten | 361-363 |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 96S186 |
| Nachgewiesen in | OpenAlex |