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Fabrication of microlenses by plasmaless isotropic etching combined with plastic moulding

Koehler, Uwe; Guber, Andreas; Bier, Wilhelm; Heckele, Mathias



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 33596
HGF-Programm 52.01.52; LK 01
Erschienen in Sensors and Actuators A
Band 53
Seiten 361-63
Erscheinungsvermerk Sensors and actuators A 53 (1996) S. 361-363.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 96S186
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