| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 33696 |
| Erscheinungsvermerk | In: Conference proceedings. ACTUATOR 96, 5th International Conference on New Actuators, Bremen 1996. Ed.: H. Borgmann. AXON Technol. Consult 1996. S. 375-378. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 96S187 |