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Influence of short circuits on data of contact & via open circuits determined by a novel weave test structure

Hess, Christopher; Weiland, Larg H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Rechnerentwurf und Fehlertoleranz (IRF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0894-6507
KITopen ID: 337796
Erschienen in IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
Band 9
Heft 1
Seiten 27-34
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