Influence of short circuits on data of contact & via open circuits determined by a novel weave test structure
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Informatik – Institut für Rechnerentwurf und Fehlertoleranz (IRF) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0894-6507 KITopen-ID: 337796 |
| Erschienen in | IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing |
| Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
| Band | 9 |
| Heft | 1 |
| Seiten | 27-34 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |