Reactive accelerated cluster erosion (RACE) by ionized cluster beams
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 33796 |
| HGF-Programm | 52.01.16 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Nuclear Instruments and Methods B |
| Band | 112 |
| Seiten | 86-88 |
| Erscheinungsvermerk | Nucl. instrum. and meth. in phys. res. B 112 (1996) S. 86-88. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 96S188 |