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Reactive accelerated cluster erosion (RACE) by ionized cluster beams

Gspann, Jürgen



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1996
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 33796
HGF-Programm 52.01.16; LK 01
Erschienen in Nuclear Instruments and Methods B
Band 112
Seiten 86-88
Erscheinungsvermerk Nucl. instrum. and meth. in phys. res. B 112 (1996) S. 86-88.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 96S188
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