Correlation between particle defects and electrical faults determined with laser scattering systems and digital measurements on checkerboard test structures
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Informatik – Institut für Rechnerentwurf und Fehlertoleranz (IRF) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 337996 |
| Erscheinungsvermerk | In: Proceedings. 1996 SPIE's Microelectronic Manufacturing: Yield, Reliability, and Failure Analysis II, Austin, USA 1996. Bellingham, Wash. 1996. S. 64-74. (Proceedings. SPIE. 2874.) |