KIT | KIT-Bibliothek | Impressum

Correlation between particle defects and electrical faults determined with laser scattering systems and digital measurements on checkerboard test structures

Hess, Christopher; Weiland, Larg H.; Lau, Günter; Hiller, Rainer



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Rechnerentwurf und Fehlertoleranz (IRF)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 337996
Erscheinungsvermerk In: Proceedings. 1996 SPIE's Microelectronic Manufacturing: Yield, Reliability, and Failure Analysis II, Austin, USA 1996. Bellingham, Wash. 1996. S. 64-74. (Proceedings. SPIE. 2874.)
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page