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Fabrication of stepped microoptical benches for fibre and free space applications

Mueller, Andre; Goettert, Jost; Mohr, Jürgen; Rogner, Arnd



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 33896
HGF-Programm 41.03.03; LK 01
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 2
Seiten 40-45
Erscheinungsvermerk Microsyst. technol. 2 (1996) S. 40-45.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 96S190
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