Fabrication of stepped microoptical benches for fibre and free space applications
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0946-7076, 1432-1858 KITopen-ID: 33896 |
| HGF-Programm | 41.03.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Microsystem technologies |
| Verlag | Springer |
| Band | 2 |
| Heft | 1 |
| Seiten | 40-45 |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 96S190 |