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Fabrication of stepped microoptical benches for fibre and free space applications

Mueller, Andre; Goettert, Jost; Mohr, Jürgen; Rogner, Arnd


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 33896
HGF-Programm 41.03.03 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 2
Seiten 40-45
Erscheinungsvermerk Microsyst. technol. 2 (1996) S. 40-45.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 96S190
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