Sub-micron LIGA process for movable microstructures
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Maschinenbau (MACH) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Jahr | 1996 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen ID: 33996 |
| HGF-Programm | 41.01.01; LK 01 |
| Erschienen in | Microelectronic Engineering |
| Band | 39 |
| Seiten | 505-08 |
| Erscheinungsvermerk | Microelectron. engng. 30 (1996) S. 505-508. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 96S191 |