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Sub-micron LIGA process for movable microstructures

Boerner, M. W.; Kohl, M.; Pantenburg, F. J.; Bacher, Walter; Hein, H.; Schomburg, Werner K.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 33996
HGF-Programm 41.01.01 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Microelectronic Engineering
Band 39
Seiten 505-08
Erscheinungsvermerk Microelectron. engng. 30 (1996) S. 505-508.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 96S191
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