Sub-micron LIGA process for movable microstructures

Börner, M. W.; Kohl, M.; Pantenburg, F. J.; Bacher, W.; Hein, H.; Schomburg, W. K.

Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/0167-9317(95)00296-0

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr	1996
Sprache	Englisch
Identifikator	ISSN: 0167-9317, 1873-5568 KITopen-ID: 33996
HGF-Programm	41.01.01 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in	Microelectronic engineering
Verlag	Elsevier
Band	30
Heft	1-4
Seiten	505-508
Bemerkung zur Veröffentlichung	Sonderdrucknummer 96S191
Nachgewiesen in	OpenAlex