Sub-micron LIGA process for movable microstructures

Boerner, M. W.; Kohl, M.; Pantenburg, F. J.; Bacher, Walter; Hein, H.; Schomburg, Werner K.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr	1996
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 33996
HGF-Programm	41.01.01 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in	Microelectronic Engineering
Band	39
Seiten	505-08
Erscheinungsvermerk	Microelectron. engng. 30 (1996) S. 505-508.
Bemerkung zur Veröffentlichung	Sonderdrucknummer 96S191