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Sub-micron LIGA process for movable microstructures

Boerner, M.W.; Kohl, M.; Pantenburg, F.J.; Bacher, Walter; Hein, H.; Schomburg, Werner K.



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 33996
HGF-Programm 41.01.01; LK 01
Erschienen in Microelectronic Engineering
Band 39
Seiten 505-08
Erscheinungsvermerk Microelectron. engng. 30 (1996) S. 505-508.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 96S191
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