Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 1996 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 33996 |
HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Microelectronic Engineering |
Band | 39 |
Seiten | 505-08 |
Erscheinungsvermerk | Microelectron. engng. 30 (1996) S. 505-508. |
Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 96S191 |