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URN: urn:nbn:de:swb:90-AAA34020031

Fehllicht in LIGA-Mikrospektrometern [online]

Last, Arndt; Mohr, Jürgen

Abstract:

Kurzfassung

Koppelt man monochromatisches Licht in ein Spektrometer ein,
erwartet man für ein ideales Spektrometer in der
Spektralverteilung eine einzige Linie bei der eingekoppelten
Wellenlänge.
Aufgrund von Fertigungstoleranzen tritt jedoch auch an anderen
Stellen Licht auf, das als Fehllicht bezeichnet wird. Der Anteil
des Fehllichts im gemessenen Spektrum bestimmt die
technische Einsetzbarkeit von Mikrospektrometern. Um den
kommerziellen Erfolg der LIGAMikrospektrometer in weiteren
Anwendungsgebieten zu gewährleisten, müssen die Systeme
bezüglich ihrer optischen Eigenschaften optimiert und der
Fehllichtanteil reduziert werden.
Ziel dieser Arbeit war es, die Ursachen für Fehllicht in
LIGA-Mikrospektrometern zu identifizieren, zu bewerten und
daraus Ansatzpunkte für prozesstechnische Verbesserungen zu
erarbeiten.
Dazu war es notwendig, neue Mess- und Auswertemethoden zu
entwickeln, die der geringen Größe und der Bauform der
LIGA-Gitterspektrometer gerecht werden.
Aufgrund fotografischer Aufnahmen der Spektrometer konnten
Unzulänglichkeiten im Spektrometerlayout als eine Quelle des
Fehllichts ausgemacht werden. Dieser Anteil konn ... mehr


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator URN: urn:nbn:de:swb:90-AAA34020031
KITopen ID: 3402003
Erscheinungsvermerk Karlsruhe 2003. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 6885.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 12.12.2002 von Arndt Last.
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Prüfungsdaten Diss. v. 12.12.2002
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