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Smart flexible microrobots for scanning electron microscope (SEM) applications

Schmoeckel, Ferdinand; Fatikow, Sergej



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Prozessrechentechnik, Automation und Robotik (IPR)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2000
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 34032000
Erscheinungsvermerk J. of intelligent mater. syst. and struct. 11 (2000) H. 3 S. 191-198.
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