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Smart flexible microrobots for SEM applications

Schmoeckel, Ferdinand; Fatikow, Sergej



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Prozessrechentechnik, Automation und Robotik (IPR)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 2000
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 34042000
Erscheinungsvermerk In: Smart structures and materials 2000 - smart structures and integrated systems. Ed.: N.M. Wereley. Bellingham, Wash. 2000. S. 142-151. (SPIE proceedings. 3985.)
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