Smart flexible microrobots for SEM applications
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Informatik – Institut für Prozessrechentechnik, Automation und Robotik (IPR) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 2000 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 34042000 |
| Erscheinungsvermerk | In: Smart structures and materials 2000 - smart structures and integrated systems. Ed.: N.M. Wereley. Bellingham, Wash. 2000. S. 142-151. (SPIE proceedings. 3985.) |