Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Maschinenbau – Institut für Werkzeugmaschinen und Betriebstechnik (wbk) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 1999 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | ISSN: 1437-9503 KITopen-ID: 344699 |
Erschienen in | F & M: Feinwerktechnik, Mikrotechnik, Mikroelektronik |
Verlag | Carl Hanser Verlag |
Band | 107 |
Heft | 11 |
Seiten | 64 - 67 |