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Development of a microrobot-based micromanipulation cell in an SEM

Schmoeckel, Ferdinand; Fahlbusch, Stephan; Seyfried, Joerg; Buerkle, Axel; Fatikow, Sergej



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Prozessrechentechnik, Automation und Robotik (IPR)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 2000
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 34712000
Erscheinungsvermerk In: Proceedings of SPIE's International Symposium on Intelligent Systems & Advanced Manufacturing, Conference on Microrobotics and Microassembly, Boston, MA 2000. S. 129-140.
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