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Harp test structure to electrically determine size distributions of killer defects

Hess, Christopher; Weiland, Larg H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Rechnerentwurf und Fehlertoleranz (IRF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1998
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 351398
Erscheinungsvermerk IEEE trans. on semiconductor manufacturing 11 (1998) S. 194-203.
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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