Novel methodology to include all measured size values per defect to improve defect size distribution
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Informatik – Institut für Rechnerentwurf und Fehlertoleranz (IRF) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1998 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 351798 |
| Erscheinungsvermerk | In: Proceedings of the Advanced Semiconductor Manufacturing Conference, ASMC, Boston, MA 1998. |