Wafer level defect density distribution using checkerboard test structures
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Informatik – Institut für Rechnerentwurf und Fehlertoleranz (IRF) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1998 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 352398 |
| Erscheinungsvermerk | In: Proceedings of the International Conference on Microelectronic Test Structures, ICMTS, Kanazawa, Japan 1998. S. 101-106. |