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Wafer level defect density distribution using checkerboard test structures

Hess, Christopher; Weiland, Larg H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Rechnerentwurf und Fehlertoleranz (IRF)
Publikationstyp Buchaufsatz
Publikationsjahr 1998
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 352398
Erscheinungsvermerk In: Proceedings of the International Conference on Microelectronic Test Structures, ICMTS, Kanazawa, Japan 1998. S. 101-106.
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