Electrodeposition of microstructures: an important process in microsystem technology
Bacher, Walter; Bade, K.
; Leyendecker, Klaus; Menz, Wolfgang; Stark, W.; Thommes, Alfons
; Leyendecker, Klaus; Menz, Wolfgang; Stark, W.; Thommes, Alfons| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 90-5699-002-0 KITopen-ID: 353795 |
| HGF-Programm | 41.01.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Electrochemical technology. Innovation and new developments. Ed.: N. Masuko |
| Verlag | Kodansha Ltd. |
| Seiten | 159-189 |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 96S179 |