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Electrodeposition of microstructures: an important process in microsystem technology

Bacher, Walter; Bade, K.; Leyendecker, Klaus; Menz, Wolfgang; Stark, W.; Thommes, Alfons



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 353795
HGF-Programm 41.01.03; LK 01
Seiten 159-89
Erscheinungsvermerk In: Electrochemical technology. Innovation and new developments. Ed.: N. Masuko. Tokyo 1995. S. 159-189.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 96S179
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