Electrodeposition of microstructures: an important process in microsystem technology
Bacher, Walter; Bade, K.
; Leyendecker, Klaus; Menz, Wolfgang; Stark, W.; Thommes, Alfons
; Leyendecker, Klaus; Menz, Wolfgang; Stark, W.; Thommes, Alfons| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 353795 |
| HGF-Programm | 41.01.03 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 159-89 |
| Erscheinungsvermerk | In: Electrochemical technology. Innovation and new developments. Ed.: N. Masuko. Tokyo 1995. S. 159-189. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 96S179 |