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Chemical vapor deposition in hot wall reactors - the interaction between homogeneous gas phase and heterogeneous surface reactions

Huettinger, Klaus J.


Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Chemie und Biowissenschaften – Institut für Chemische Technik (Inst. f. Chem. Tech.)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1998
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 369298
Erscheinungsvermerk Chemical vapor deposition 4 (1998) S. 157.
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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