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Entwicklung eines LIGA-Mikrosystems zur Messung mechanischer Eigenschaften von Mikroproben

Ruther, Patrick Constantin; Bacher, Walter; Feit, K.

Abstract:
Wissenschaftlliche Berichte - FZKA 5986
Bei der Entwicklung der Mikroelektronik standen zunächst nur die elektrischen und thermischen Materialkenndaten im Vordergrund. Im Zuge der Weiterentwicklung zur Mikrosystemtechnik, bei der mikromechanische Komponenten mit der entsprechenden Auswerteelektronik kombiniert werden, ergibt sich die Notwendigkeit, daß auch die mechanischen Materialeigenschaften der verwendeten Werkstoffe bekannt sind. Da diese Kenndaten aufgrund der spezifischen Herstellungsverfahren der Mikrosystemtechnik und charakteristischer Dimensionen nicht ohn ... mehr

Abstract (englisch):
Development of a LIGA-made microtest system to determine mechanical properties of micro samples
The development of microelectronics was concentrated initially on the electric and thermal characteristics of materials. In the course of its advanced development into microsystems technology, which is a combination of micromechanical components and the corresponding evaluation electronics, also the mechanical properties of the materials used must be known. As a consequence of the special manufacturing techniques in microsystems technology, and also of the characteristic di ... mehr


Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 1997
Sprache Deutsch
Identifikator DOI(KIT): 10.5445/IR/37297
URN: urn:nbn:de:swb:90-AAA372970
KITopen ID: 37297
Reportnummer: FZKA-5986
HGF-Programm 41.02.03; LK 01
Serie Wissenschaftliche Berichte. FZKA ; 5986
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Prüfungsdaten Diss. v. 9.12.1996
URLs Abstract (HTML)
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