Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Maschinenbau (MACH) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Hochschulschrift |
Jahr | 1997 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | URN: urn:nbn:de:swb:90-AAA372970 KITopen-ID: 37297 Reportnummer: FZKA-5986 |
HGF-Programm | 41.02.03 (Vor POF, LK 01) |
Serie | Wissenschaftliche Berichte. FZKA ; 5986 |
Abschlussart | Dissertation |
Fakultät | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
Institut | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
Prüfungsdaten | Diss. v. 9.12.1996 |
Externe Relationen | Abstract/Volltext |