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Magnetron-gesputterte superharte, amorphe Kohlenstoffschichten mit gradiertem Schichtaufbau

Stüber, Michael


Volltext §
DOI: 10.5445/IR/37497
Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Hochschulschrift
Publikationsjahr 1997
Sprache Deutsch
Identifikator urn:nbn:de:swb:90-AAA374971
KITopen-ID: 37497
Reportnummer: FZKA-5919
HGF-Programm 52.01.32 (Vor POF, LK 01)
Verlag Universität Karlsruhe (TH)
Serie Wissenschaftliche Berichte. FZKA ; 5919
Art der Arbeit Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Prüfungsdaten Diss. v. 30.1.1997
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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