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Kinetische Untersuchungen zur katalysierten chemischen Gasphasenabscheidung von monokristallinen Siliciumnitrid-Filamenten

Guggenberger, Michael A.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Chemische Technik (Inst. f. Chem. Tech.)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 1997
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 37797
Erscheinungsvermerk Fak. f. Chemie, Diss. v. 20.12.1996.
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Chemie (Fak. für Chemie)
Institut Institut für Chemische Technik (Inst. f. Chem. Tech.)
Prüfungsdaten Diss. v. 20.12.1996
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