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Kinetische Untersuchungen zur katalysierten chemischen Gasphasenabscheidung von monokristallinen Siliciumnitrid-Filamenten

Guggenberger, Michael A.


Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Chemie und Biowissenschaften – Institut für Chemische Technik (Inst. f. Chem. Tech.)
Publikationstyp Hochschulschrift
Publikationsjahr 1997
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 37797
Verlag Universität Karlsruhe (TH)
Erscheinungsvermerk Fak. f. Chemie, Diss. v. 20.12.1996.
Art der Arbeit Dissertation
Fakultät Fakultät für Chemie (Fak. für Chemie)
Institut Fakultät für Chemie und Biowissenschaften – Institut für Chemische Technik (Inst. f. Chem. Tech.)
Prüfungsdaten Diss. v. 20.12.1996
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