Untersuchung der Eigenschaften von Clusterschichten im Vergleich zu konventionell hergestellten Schichten
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | urn:nbn:de:swb:90-AAA411965 KITopen-ID: 41196 Reportnummer: FZKA-5800 |
| HGF-Programm | 52.01.12 (Vor POF, LK 01) |
| Serie | Wissenschaftliche Berichte. FZKA ; 5800 |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Fakultät | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
| Institut | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
| Prüfungsdaten | Diss. v. 12.7.1996 |