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Untersuchung der Eigenschaften von Clusterschichten im Vergleich zu konventionell hergestellten Schichten

Gatz, Peter R.; Hagena, Otto-Friedrich



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 1996
Sprache Deutsch
Identifikator DOI(KIT): 10.5445/IR/41196
URN: urn:nbn:de:swb:90-AAA411965
KITopen ID: 41196
Reportnummer: FZKA-5800
HGF-Programm 52.01.12; LK 01
Serie Wissenschaftliche Berichte. FZKA ; 5800
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Prüfungsdaten Diss. v. 12.7.1996
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