Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Hochschulschrift |
Publikationsjahr | 2000 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 422000 Reportnummer: FZKA-6455 |
HGF-Programm | 41.01.02 (Vor POF, LK 01) |
Verlag | Universität Karlsruhe (TH) |
Umfang | VIII, 121 S. |
Serie | Wissenschaftliche Berichte. FZKA ; 6455 |
Art der Arbeit | Dissertation |
Fakultät | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
Institut | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Prüfungsdaten | Diss. v. 25.1.2000 |
Prüfungsdatum | 25.01.2000 |
Externe Relationen | Abstract/Volltext |
Referent/Betreuer | Saile, V. Heinze, J. |