Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Hochschulschrift |
Publikationsjahr | 1994 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | urn:nbn:de:swb:90-AAA424945 KITopen-ID: 42494 Reportnummer: KFK-5375 |
HGF-Programm | 41.01.05 (Vor POF, LK 01) |
Serie | KfK-Berichte ; 5375 |
Art der Arbeit | Dissertation |
Prüfungsdaten | Diss. v. 29.4.1994 |