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DOI: 10.5445/IR/42494

Miniaturisierte fluidische Strahlelemente in LIGA-Technik mit integrierter elektrischer Steuerung

Vollmer, Josef; Hein, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 1994
Sprache Deutsch
Identifikator URN: urn:nbn:de:swb:90-AAA424945
KITopen ID: 42494
Reportnummer: KFK-5375
HGF-Programm 41.01.05; LK 01
Serie KfK-Berichte ; 5375
Abschlussart Dissertation
Prüfungsdaten Diss. v. 29.4.1994
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