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Miniaturisierte fluidische Strahlelemente in LIGA-Technik mit integrierter elektrischer Steuerung

Vollmer, Josef; Hein, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 1994
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 42494
Reportnummer: KFK-5375
HGF-Programm 41.01.05; LK 01
Erscheinungsvermerk Karlsruhe 1994. (KfK. 5375.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 29.4.1994 von Josef Vollmer.
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Prüfungsdaten Diss. v. 29.4.1994
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