Plasmaloses und laserinduziertes Ätzen von Silicium mit den Halogenen Fluor, Chlor und Brom
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Jahr | 1995 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 43895 |
| Erscheinungsvermerk | Karlsruhe 1995. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 5574.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 16.1.1995 von Uwe Köhler. |
| Abschlussart | Dissertation |
| Fakultät | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
| Institut | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Prüfungsdaten | Diss. v. 16.1.1995 |