Plasmaloses und laserinduziertes Ätzen von Silicium mit den Halogenen Fluor, Chlor und Brom
Koehler, Uwe; Guber, Andreas; Bier, Wilhelm
Zugehörige Institution(en) am KIT |
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
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Publikationstyp |
Hochschulschrift |
Jahr |
1995 |
Sprache |
Deutsch |
Identifikator |
KITopen ID: 43895 |
Erscheinungsvermerk |
Karlsruhe 1995. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 5574.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 16.1.1995 von Uwe Köhler. |
Abschlussart |
Dissertation |
Fakultät |
Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
Institut |
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Prüfungsdaten |
Diss. v. 16.1.1995 |