Plasmaloses und laserinduziertes Ätzen von Silicium mit den Halogenen Fluor, Chlor und Brom
Koehler, Uwe; Guber, Andreas; Bier, Wilhelm
| Zugehörige Institution(en) am KIT |
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
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| Publikationstyp |
Hochschulschrift |
| Jahr |
1995 |
| Sprache |
Deutsch |
| Identifikator |
KITopen ID: 43895 |
| Erscheinungsvermerk |
Karlsruhe 1995. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 5574.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 16.1.1995 von Uwe Köhler. |
| Abschlussart |
Dissertation |
| Fakultät |
Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
| Institut |
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Prüfungsdaten |
Diss. v. 16.1.1995 |
