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Plasmaloses und laserinduziertes Ätzen von Silicium mit den Halogenen Fluor, Chlor und Brom

Koehler, Uwe; Guber, Andreas; Bier, Wilhelm



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 1995
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 43895
Erscheinungsvermerk Karlsruhe 1995. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 5574.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 16.1.1995 von Uwe Köhler.
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Prüfungsdaten Diss. v. 16.1.1995
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