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Parametrisches optisches Messen bei der Herstellung von Mikrostrukturen mit beliebiger, ebener Oberflaechengeometrie

Buerg, Bernhard



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Datenverarbeitung in der Technik (IDT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 1991
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 4391
Reportnummer: KFK-4849
HGF-Programm 16.05.02; LK 01
Erscheinungsvermerk Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 23.1.1991 und (KfK-Bericht. 4849.)
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Prüfungsdaten Diss. v. 23.1.1991
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