Parametrisches optisches Messen bei der Herstellung von Mikrostrukturen mit beliebiger, ebener Oberflaechengeometrie
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Datenverarbeitung in der Technik (IDT) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 1991 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | urn:nbn:de:swb:90-AAA43916 KITopen-ID: 4391 Reportnummer: KFK-4849 |
| HGF-Programm | 16.05.02 (Vor POF, LK 01) |
| Serie | KfK-Berichte ; 4849 |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Prüfungsdaten | Diss. v. 23.1.1991 |