Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Hochschulschrift |
Publikationsjahr | 1995 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | urn:nbn:de:swb:90-AAA460953 KITopen-ID: 46095 Reportnummer: FZKA-5609 |
HGF-Programm | 41.06.01 (Vor POF, LK 01) |
Verlag | Universität Karlsruhe (TH) |
Serie | Wissenschaftliche Berichte. FZKA ; 5609 |
Art der Arbeit | Dissertation |
Fakultät | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
Institut | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Prüfungsdaten | Diss. v. 7.7.1994 |