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Unterstützung der Produktionsplanung in der Halbleiterfertigung durch risikoberücksichtigende Betriebskennlinien

Brath, Jürgen



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Werkzeugmaschinen und Betriebstechnik (wbk)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 1999
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 46599
Erscheinungsvermerk Karlsruhe 1999. (Forschungsberichte aus dem Institut für Werkzeugmaschinen und Betriebstechnik der Universität Karlsruhe. 93.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 5.7.1999.
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Institut für Werkzeugmaschinen und Betriebstechnik (wbk)
Prüfungsdaten Diss. v. 5.7.1999
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