Unterstützung der Produktionsplanung in der Halbleiterfertigung durch risikoberücksichtigende Betriebskennlinien
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Maschinenbau – Institut für Werkzeugmaschinen und Betriebstechnik (wbk) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 1999 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 46599 |
| Verlag | Universität Karlsruhe (TH) |
| Erscheinungsvermerk | Karlsruhe 1999. (Forschungsberichte aus dem Institut für Werkzeugmaschinen und Betriebstechnik der Universität Karlsruhe. 93.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 5.7.1999. |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Fakultät | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
| Institut | Fakultät für Maschinenbau – Institut für Werkzeugmaschinen und Betriebstechnik (wbk) |
| Prüfungsdaten | Diss. v. 5.7.1999 |