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Aufbau von optisch-elektrischen Funktionsmodulen mit Hilfe des LIGA-Verfahrens für die optische Übertragungstechnik

Ziegler, Patrick; Wengelink, J.; Mohr, Jürgen

Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Publikationsjahr 1999
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 47699
Reportnummer: FZKA-6344
HGF-Programm 41.07.01 (Vor POF, LK 01)
Verlag Universität Karlsruhe (TH)
Erscheinungsvermerk Karlsruhe 1999. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 6344.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 7.6.1999 von Patrick Ziegler.
Art der Arbeit Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Prüfungsdaten Diss. v. 7.6.1999
Externe Relationen Abstract/Volltext
Nachgewiesen in OpenAlex
Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung Ziel 7 – Bezahlbare und saubere Energie

Volltext §
DOI: 10.5445/IR/47699
Seitenaufrufe: 121
seit 30.05.2018
Downloads: 304
seit 18.04.2016
Cover der Publikation
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