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Aufbau von optisch-elektrischen Funktionsmodulen mit Hilfe des LIGA-Verfahrens für die optische Übertragungstechnik

Ziegler, Patrick; Wengelink, J.; Mohr, Jürgen



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 1999
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 47699
Reportnummer: FZKA-6344
HGF-Programm 41.07.01; LK 01
Erscheinungsvermerk Karlsruhe 1999. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 6344.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 7.6.1999 von Patrick Ziegler.
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Prüfungsdaten Diss. v. 7.6.1999
URLs Abstract (HTML)
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