KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Aufbau von optisch-elektrischen Funktionsmodulen mit Hilfe des LIGA-Verfahrens für die optische Übertragungstechnik

Ziegler, Patrick; Wengelink, J.; Mohr, Jürgen

Open Access Logo


Volltext §
DOI: 10.5445/IR/47699
Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Publikationsjahr 1999
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 47699
Reportnummer: FZKA-6344
HGF-Programm 41.07.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Karlsruhe 1999. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 6344.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 7.6.1999 von Patrick Ziegler.
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Prüfungsdaten Diss. v. 7.6.1999
Externe Relationen Abstract/Volltext
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page