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Rechnergestützte Vermessung von dreidimensionalen Mikrostrukturen

Stucky, Karl-Uwe



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Publikationstyp Hochschulschrift
Publikationsjahr 1994
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 48394
Erscheinungsvermerk Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 11.5.1994.
Art der Arbeit Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Prüfungsdaten Diss. v. 11.5.1994
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