Entwicklung eines subtraktiven Strukturierungsverfahrens zur Herstellung von Roentgenzwischenmasken fuer das LIGA- Verfahren
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 1993 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | urn:nbn:de:swb:90-AAA486939 KITopen-ID: 48693 Reportnummer: KFK-5262 |
| HGF-Programm | 41.01.05 (Vor POF, LK 01) |
| Serie | KfK-Berichte ; 5262 |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Prüfungsdaten | Diss. v. 7.7.1993 |