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DOI: 10.5445/IR/48693

Entwicklung eines subtraktiven Strukturierungsverfahrens zur Herstellung von Roentgenzwischenmasken fuer das LIGA- Verfahren

Kadel, Klaus; Stern, G.; Brossardt, R.; Schomburg, W. K.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 1993
Sprache Deutsch
Identifikator URN: urn:nbn:de:swb:90-AAA486939
KITopen ID: 48693
Reportnummer: KFK-5262
HGF-Programm 41.01.05; LK 01
Serie KfK-Berichte ; 5262
Abschlussart Dissertation
Prüfungsdaten Diss. v. 7.7.1993
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