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Entwicklung eines subtraktiven Strukturierungsverfahrens zur Herstellung von Roentgenzwischenmasken fuer das LIGA- Verfahren

Kadel, Klaus; Stern, G.; Brossardt, R.; Schomburg, W. K.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 1993
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 48693
Reportnummer: KFK-5262
HGF-Programm 41.01.05; LK 01
Erscheinungsvermerk Karlsruhe 1993. (KfK. 5262.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 7.7.1993 von Klaus Kadel.
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Prüfungsdaten Diss. v. 7.7.1993
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