Entwicklung, Optimierung und Test von elektrostatischen Mikromotoren nach dem LIGA-Verfahren
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 1992 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 49792 Reportnummer: KFK-5088 |
| HGF-Programm | 41.01.04 (Vor POF, LK 01) |
| Verlag | Universität Karlsruhe (TH) |
| Erscheinungsvermerk | Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 17.7.1992. und (KfK. 5088.) |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Fakultät | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
| Institut | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Prüfungsdaten | Diss. v. 17.7.1992 |