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Entwicklung, Optimierung und Test von elektrostatischen Mikromotoren nach dem LIGA-Verfahren

Wallrabe, Ulrike; Bley, P.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 1992
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 49792
Reportnummer: KFK-5088
HGF-Programm 41.01.04; LK 01
Erscheinungsvermerk Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 17.7.1992. und (KfK. 5088.)
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Prüfungsdaten Diss. v. 17.7.1992
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