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Entwicklung, Optimierung und Test von elektrostatischen Mikromotoren nach dem LIGA-Verfahren

Wallrabe, Ulrike; Bley, P.; Mohr, J.

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Volltext §
DOI: 10.5445/IR/49792
Coverbild
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 1992
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 49792
Reportnummer: KFK-5088
HGF-Programm 41.01.04 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 17.7.1992. und (KfK. 5088.)
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Prüfungsdaten Diss. v. 17.7.1992
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