Profilierte Mikrodiamanten fuer die Herstellung von Mikrostrukturen

Schubert, K.; Bier, W.; Linder, G.; Seidel, D.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Buch
Publikationsjahr	1990
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 51090
Erscheinungsvermerk	Industrie Diamanten Rdsch. 23 (1989) Nr. 4 (5 S.)
Bemerkung zur Veröffentlichung	Sonderdrucknummer 91S2