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Profilierte Mikrodiamanten fuer die Herstellung von Mikrostrukturen

Schubert, K.; Bier, W.; Linder, G.; Seidel, D.



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buch
Jahr 1990
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 51090
Erscheinungsvermerk Industrie Diamanten Rdsch. 23 (1989) Nr. 4 (5 S.)
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 91S2
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