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Cluster ion source for micromachining

Henkes, P.R.W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1990
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 51190
HGF-Programm 16.01.03; LK 01
Erschienen in Review of Scientific Instruments
Band 61
Seiten 360-62
Erscheinungsvermerk Rev. of sci. instrum. 61 (1990) S. 360-362.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 91S3
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