Cluster ion source for micromachining
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1990 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 51190 |
| HGF-Programm | 16.01.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Review of Scientific Instruments |
| Band | 61 |
| Seiten | 360-62 |
| Erscheinungsvermerk | Rev. of sci. instrum. 61 (1990) S. 360-362. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 91S3 |