Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 1990 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 51290 |
Erscheinungsvermerk | KfK-Nachr. 21 (1989) S. 287-292. |
Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 91S4 |