| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1990 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 51290 |
| Erscheinungsvermerk | KfK-Nachr. 21 (1989) S. 287-292. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 91S4 |