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Ultrasonic supported development of irradiated micro-structures

El-Kholi, A.; Mohr, Jürgen; Stransky, R.



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 52894
HGF-Programm 41.01.02 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Microelectronic Engineering
Band 23
Seiten 219-22
Erscheinungsvermerk Microelectron. engng. 23 (1994) S. 219-222.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 94S215
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