KIT | KIT-Bibliothek | Impressum

Ultrasonic supported development of irradiated micro-structures

El-Kholi, A.; Mohr, Jürgen; Stransky, R.



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 52894
HGF-Programm 41.01.02; LK 01
Erschienen in Microelectronic Engineering
Band 23
Seiten 219-22
Erscheinungsvermerk Microelectron. engng. 23 (1994) S. 219-222.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 94S215
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page