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The LIGA process - from microcomponents to microsystems

Mohr, Jürgen; Bacher, Walter; Bley, Peter; Menz, Wolfgang



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 52994
Erscheinungsvermerk In: Unification of analytical, computational, and experimental solution methodologies in micromechanics and microsystems. Proc. of the 11th Int. Invitational UACEM Sympos. Ed.: R.J. Pryputniewicz. Worcester, Mass. : Polytech. Inst. 1994. S. 88-100.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 94S216
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