The LIGA process - from microcomponents to microsystems
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 52994 |
| Erscheinungsvermerk | In: Unification of analytical, computational, and experimental solution methodologies in micromechanics and microsystems. Proc. of the 11th Int. Invitational UACEM Sympos. Ed.: R.J. Pryputniewicz. Worcester, Mass. : Polytech. Inst. 1994. S. 88-100. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 94S216 |