| Zugehörige Institution(en) am KIT | Hauptabteilung Versuchstechnik (HVT) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 53294 |
| HGF-Programm | 41.01.05 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Feinwerktechnik |
| Band | 102 |
| Seiten | 274-78 |
| Erscheinungsvermerk | F & M, Feinwerktech., Mikrotech., Messtech. 102 (1994) S. 274-278. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 94S219 |