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Mechanische Mikrostrukturierung metallischer Oberflächen

Schaller, Thomas; Bier, Wilhelm; Linder, Gerd; Schubert, Klaus


Zugehörige Institution(en) am KIT Hauptabteilung Versuchstechnik (HVT)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1994
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 53294
HGF-Programm 41.01.05 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Feinwerktechnik
Band 102
Seiten 274-78
Erscheinungsvermerk F & M, Feinwerktech., Mikrotech., Messtech. 102 (1994) S. 274-278.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 94S219
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