Zugehörige Institution(en) am KIT | Hauptabteilung Versuchstechnik (HVT) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 1994 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 53294 |
HGF-Programm | 41.01.05 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Feinwerktechnik |
Band | 102 |
Seiten | 274-78 |
Erscheinungsvermerk | F & M, Feinwerktech., Mikrotech., Messtech. 102 (1994) S. 274-278. |
Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 94S219 |