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Die LIGA-Technik und ihr Potential fuer die industrielle Anwendung

Menz, Wolfgang



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 1993
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 53393
Erscheinungsvermerk In: 1. Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik, Kernforschungszentrum Karlsruhe 1993. Karlsruhe 1993. S. 19-28. (KfK. 5238.)
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