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Die LIGA-Technik und ihr Potential fuer die industrielle Anwendung

Menz, Wolfgang

Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Publikationsjahr 1993
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 53393
Erscheinungsvermerk In: 1. Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik, Kernforschungszentrum Karlsruhe 1993. Karlsruhe 1993. S. 19-28. (KfK. 5238.)

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