Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Buchaufsatz |
Publikationsjahr | 1993 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 53393 |
Erscheinungsvermerk | In: 1. Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik, Kernforschungszentrum Karlsruhe 1993. Karlsruhe 1993. S. 19-28. (KfK. 5238.) |